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    箱式真空等離子體處理系統GX-V1502

    箱式真空等離子體處理系統GX-V1502

    銷售咨詢熱線:189 0525 0399

    產品展示

    項目

    規格

    主機尺寸

    1955W x 1580D x 1750H mm

    真空腔體尺寸

    1020W x 1330D x 913H mm

    電極板配置

    16 片垂直電極板,15 個處理位置

    有效區域

    1100W x 615H mm

    等離子體電源

    10kw-20kw

    電極溫度

    35~95℃,模溫恒定控制,待機狀態也能保持溫度不變,省去預熱時間

    工藝氣體控制

    標配:
    O2、N2:0~5000sccm;
    CF4:0~400sccm;
    Ar:0~2000sccm;
    可選:
    額外一路工藝氣體,流量范圍可定制

    真空檢測

    0.01Torr~760Torr

    工作氣壓

    0.15~0.3Torr,控制精度 0.2mTorr

    人機界面觸摸屏

    中文界面,模擬圖文顯示;操作員、工程師權限分級;

    真空泵組

    選配

    型號指示燈

    三色指示燈,帶報警蜂鳴器

    系統重量

    ~3.5 噸,包含主機、泵組、模溫機

    空間需求

    4000 x 4000 x 2200(H)mm

    電源需求

    AC380V 三相五線,50Hz/100A,30kW

    壓縮空氣需求

    潔凈、干燥,0.5~0.8MPa

    工藝氣體需求

    0.3~0.5MPa,純度>99.9%

    廠務冰水需求

    20℃,20L/min (模溫機采用水冷式需求冰水,風冷式無該項)

    抽風系統

    >100 立方/min (模溫機采用風冷式需求熱排風,水冷式無該項)

    廢氣管道

    >3 立方/min,中央廢氣系統,DN50

    環境溫濕度

    20~30℃,30%~70%RH


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    下一條 真空卷對卷垂直式

    本文標簽:

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